UV洗浄・改質Cleaning & Modifying
- UVS401Y
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コンパクト&ローコストを実現。設置スペースの効率化とコストの削減を実現したシンプルな卓上型の実験装置。大学や研究機関にベストセラーモデルです。
- UVS1101N
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高性能かつ低価格を実現。100mm角対応で研究開発分野でのご利用に最適な1台です。
- UVS2001N
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200mm角対応で研究開発からセミ量産分野までカバーするコストパフォーマンスが高い装置です。
- UVS2003N
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300mm角の大面積対応機種。小型サンプルの一括大量処理も可能です。研究開発から本格量産までカバーできる装置です。
- スタンドアローン型バッチタイプ
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200mm角から700mm角まで対応可能なオーダーメイド機種。オプションも豊富で研究開発から量産まで幅広く対応します。
- スタンドアローン型コンベアタイプ
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搬送幅100mm~150mmまで対応可能です。少量サンプルから本格量産までインラインでの連続処理が可能な機種です。
- オゾン分解装置
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コンパクトで高性能なオゾン触媒を内蔵したオゾン分解装置です。
対象のオゾン濃度やご要望に応じてカスタマイズも可能な機種となります。
UV硬化Curing
- ハンディタイプ UVKH2501N
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手軽に持ち運べてランプも選べるハンディタイプの紫外線硬化装置です。コンパクトながら高出力なUV硬化ランプを搭載していますので、本格的な試験が可能です。
- 卓上バッチタイプ
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UV硬化装置バッチ式の定番モデル。遮光された状態で照射できるので安全に処理可能です。
筐体がセパレート式なので試料サイズや形状に応じて対応が可能です。
- 卓上コンベアタイプ
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コンパクトなコンベア型UV硬化装置です。研究用途、サンプル処理から生産用まで幅広く対応可能です。
- スタンドアローン型コンベアタイプ
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幅広いワークに対応したコンベアタイプUV硬化装置です。本格的な生産用として、各種カスタマイズも対応可能です。
- スタンドアローン型自動搬送タイプ
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ウエハをケースから取り出し、UV照射後ケースに収納。LD/ULDを有し、スカラーロボットで自動搬送を採用した上位モデルの生産機です。
- ユニットタイプ
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UV硬化ランプユニットと電源だけの組み合わせ。ランプサイズのバリエーションは多数ご用意しておりますのでご要望に合うサイズをお選びくだい。